光刻机巨头ASML中国区总裁:对向中国出口光刻机保持开放态度

11月6日消息,荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)全球副总裁、中国区总裁沈波表示,该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度,对全球客户均一视同仁,在法律法规框架下,都将全力支持。

公开资料显示,目前市场上提供量产商用的光刻机厂商有三家:阿斯麦、 尼康(Nikon)和佳能(Canon)。据芯思想研究院的统计,仅 ASML一家就占据了全球近七成的市场。

阿斯麦作为全球最大的半导体设备制造商之一,为半导体生产商提供光刻机及相关服务,其TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,如英特尔、三星、海力士、台积电、中芯国际等都向ASML采购TWINSCAN机型。

相关数据显示,2020年10月,阿斯麦光刻机在中国大陆地区大大小小装机有700台,2020年第二、第三季度,公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。