专注于碳化硅外延炉，纳设智能完成数千万元天使轮融资

投资界消息，深圳市纳设智能设备有限公司（简称“纳设智能”）近日完成了数切切元天使轮融资，由东方富海治理的中小企业成长基金（深圳南山有限合股）及老股东深圳嘉远本钱结合投资。本轮融资资金将用于第三代半导体碳化硅化学气相沉积外延设备（简称“碳化硅外延炉”，如图一所示）的产品研发、工艺验证、市场推广以及技巧团队扩建。

纳设智能成立于2018年10月，坐落在深圳市光亮区留学人员创业园，近期已经由过程国度高新技巧企业初步认定。公司拥有一支包含顶级科学家在内的研发团队，致力于第三代半导体等先辈材料范畴的高端设备制造。

纳设智能专注于碳化硅家当链里关键的碳化硅外延炉，此设备的关键难点就是温度高，须要达到接近1700oC, 须要的反响室材料、温度控制、气体控制、防污染、工艺等都是面对的挑衅，而纳设智能团队已控制响应的自立立异的技巧解决筹划，可以实现家当化。公司研发团队的重要行业经验包含MOCVD设备、刻蚀设备以及纳米材料等多款半导体设备和工艺开辟及市场推广，具有深挚的技巧积聚和丰富的行业资本；在先辈设备的产品化和市场化推广方面拥有平均十年以上的实战经验。2019年，团队成立仅一年便成功完成4台设备的设计组装及调试，个中包含中国首台开放式卷对卷石墨烯化学气相沉积设备，实现了开放前提下，24小时持续不间断临盆石墨烯、碳纳米管等先辈薄膜材料，该技巧实现了全球最低CVD石墨烯薄膜的临盆成本；别的也发卖了三台科研级CVD设备。

本轮融资资金将支撑纳设智能的技巧团队实现第三代半导体碳化硅高温化学气相沉积外延设备的高质量家当化，以知足第三代半导体家当范围爆发式增长和技巧进级自立可控的重大年夜需求，助力攻关新材料先辈设备的核心技巧难点，研制国内领先世界一流的碳化硅外延设备，实现下流家当化应用。同时，纳设智能也在赓续扩大年夜团队范围，吸纳培养更多的半导体专业技巧研发人员，打造一流的人才集合地。