集微网消息，3月8日，上海新阳宣布关于ASML-1400光刻机进展的通知布告称，现经各方积极协商、运作，该光刻机设备于今日已进入合作方北方集成电路技巧立异中间（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相干工作。
据披露，上海新阳自立项开辟193nmArF干法光刻胶的研发及家当化项目以来，安排购买了ASML-1400光刻机等核心设备，并于2020年12月14日在《关于公司申请向特定对象发行股票的审核问询函的答复》中披露，该光刻机将于2020岁尾前运抵国内。后因为公司与光刻机供给商、北方集成电路技巧立异中间（北京）有限公司（以下简称“合作方”）沟通调和设备运输与安装等细节，致使设备没能在规准时光内运达，但与合作方就具体合作细节签订了《合作框架协定》，并宣布了《关于ASML-1400光刻机进展暨签订<合作框架协定>的通知布告》，估计该光刻机将于2021年3月底进步入合作方现场。
北方集成电路技巧立异中间（北京）有限公司与上海新阳将合作在北方集成电路技巧立异中间（北京）有限公司指定工厂搭建光刻胶验证平台，该平台由ArF光刻机（上海新阳负责供给）和涂胶显影机（北方集成电路技巧立异中间（北京）有限公司负责供给）构成，用于先辈光刻胶验证。
上海新阳表示，公司采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nmArF干法光刻胶产品开辟进度有积极影响，有利于进一步晋升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司成长计谋，进步公司抗风险才能和可持续成长才能。
值得留意的是，该光刻机尚须经由装机、调试等相干环节，若相干环节出现工作疏漏或掉误则存在造成所购买的光刻机投入应用的过程较长甚至无法投入应用的风险。
此外，光刻胶研发项目技巧壁垒高、周期长、至家当化并最终实现发卖利润仍需一准时光，而公司购买的光刻机设备价格昂贵，其折旧及后续保护费用估计对公司的经营事迹存在必定影响。(校订/GY)
