历经波折 上海新阳终于收到ASML-1400光刻机

3月8日，上海新阳半导体材料股份有限公司宣布通知布告，披露了关于购买ASML-1400光刻机的最新进展。

据介绍，上海新阳自立项开辟193nmArF干法光刻胶的研发及家当化项目以来，安排购买了ASML-1400光刻机等核心设备，并于2020年12月14日披露，该光刻机将于2020岁尾前运抵国内。

不过此后，因为上海新阳与光刻机供给商、北方集成电路技巧立异中间(毕竟)有限公司在沟通调和设备运输与安装等细节方面碰到曲折，光刻机设备没能在规准时光内运达。

随后，两边就具体合作细节签订了《合作框架协定》，估计该光刻机将于2021年3月底进步入北方集成电路现场。

现经各方积极协商、运作，这台光刻机设备于今日已进入北方集成电路技巧立异中间(北京)有限公司的场地，后续将进行安装调试等相干工作。

上海新阳表示，采购的ASML干法光刻机设备顺利交付，对加快193nm ArF干法光刻胶产品开辟进度有积极影响，有利于进一步晋升公司光刻胶产品的核心竞争力，加快落实公司成长计谋，进步公司抗风险才能和可持续成长才能。

不过，这台光刻机尚须经由装机、调试等相干环节，假如出现工作疏漏或掉误，则存在造成光刻机投入应用过程较长，甚至无法投入应用的风险。

别的，光刻胶研发项目技巧壁垒高、周期长，投入家当化并最终实现发卖利润，仍需一准时光，并且价格昂贵，其折旧及后续保护费用估计对公司的经营事迹存在必定影响。