政企合力推动IC用高端光刻胶研发提速

科技若何自立自强？“卡脖子”的核心技巧若何冲破？这一方面须要顶层设计支撑，另一方面也须要从事实体经济的企业勇于投入科研攻关。在光刻胶范畴，这一趋势明显。

上海新阳3月9日披露，公司购买的ASML（荷兰阿斯麦）-1400光刻机已于3月8日到货出场，这是国内第二家为研发光刻胶购买光刻机的上市公司。

集成电路（IC）用高端光刻胶是典范的“卡脖子”范畴，也是国度重点搀扶的范畴之一。“十四五”筹划纲领草案说起，在高端新材料方面，要加快茂金属聚乙烯等高机能树脂，以及集成电路用光刻胶等电子高纯材料关键技巧冲破。

据上海证券报记者统计，已有多家A股公司深度构造IC用高端光刻胶，如KrF(248nm)、ArF（193nm）及相干范畴，并取得必定进展。比如，晶瑞股份也购买了光刻机用于ArF（193nm）先辈光刻胶研发。北京科华（彤程新材控股子公司）称其是今朝国内独一一家量产KrF的公司。

光刻胶研发提速

上海新阳3月8日宣布进展通知布告称，公司购买的ASML-1400光刻机已于当日进入合作方北方集成电路技巧立异中间（北京）有限公司场地，后续将进行安装调试等相干工作。公司称，光刻机出场对加快193nm ArF干法光刻胶产品开辟进度有积极影响。

回溯通知布告，上海新阳于2020年8月15日宣布定增预案，拟向不跨越35名投资者发行股票募集资金不跨越15亿元，个中7.32亿元用于集成电路制造的高端光刻胶研发、家当化项目。

上海新阳为何投入巨额资金研发光刻胶？有业内人士表示，光刻胶及其部分原材料是半导体家当典范的“卡脖子”范畴，尤其是在全球用量最大年夜的先辈集成电路用高端光刻胶KrF（248nm）、ArF（193nm）上，亟待国产化。今朝，全球高端光刻胶市场重要由日本的信越化学、合成橡胶、东京应化、住友化学等公司控制。

上述业内人士介绍，高端光刻胶研发的难度表如今原材料、配方及工艺（包管产品稳定性、一致性）等层面。此外，厂商要自行测试产品加快研发过程，还须要设备光刻机、涂布显影机、缺点考验设备、膜厚检测机台等设备，往往须要投入数亿元的资金。

一个重要的旌旗灯号是，作为高端新材料，集成电路用光刻胶被写入“十四五”筹划纲领草案，高端光刻胶国产化有望提速。

“十四五”筹划纲领草案在制造业核心竞争力晋升（专栏4）中说起，在高端新材料方面，要加快茂金属聚乙烯等高机能树脂和集成电路用光刻胶等电子高纯材料关键技巧冲破。

“高机能树脂恰是ArF（193nm）光刻胶家当化的关键之一。”上述业内人士称，除了配方及配方工艺，国产ArF（193nm）光刻胶还面对原材料缺乏问题，高机能树脂即为个中一种原材料。此外，首台套等相干配套办法，在必定程度上弥补了晶圆厂合营测试的费用及损掉，也将加快光刻胶在晶圆厂的测试和工程化冲破。

“十四五”筹划纲领草案强调，实施家当基本再造工程，加快补齐基本零部件及元器件、基本软件、基本材料、基本工艺和家当技巧基本等瓶颈短板，将推动首台（套）设备、首批次材料、首版次软件示范应用等。

多家上市公司忙构造

加快光刻胶等基本材料国产化，“十四五”筹划纲领草案还提出，依托行业龙头企业，加大年夜重要产品和关键核心技巧攻关力度，加快工程化家当化冲破。

已有多家上市公司构造了KrF（248nm）、ArF（193nm）等高端光刻胶及相干产品，部分公司在相干产品的国产化上已取得必定进展。

除了上海新阳，晶瑞股份和南大年夜光电也在奋力推动ArF（193nm）光刻胶的国产化。

晶瑞股份在1月19日举办了阿斯麦（ASML）XT 1900Gi浸没式光刻机出场典礼，公司斥资1102.5万美元购买了该光刻机用于ArF光刻胶的研发。晶瑞股份董事长吴天舒表示，ArF光刻胶覆盖到晶圆制造的28nm制程，可知足除手机芯片外的大年夜部分芯片国产化须要，对信息化扶植意义巨大年夜，是当前最需实现国产化的半导体材料之一。

南大年夜光电于2020年11月7日宣布定增预案，拟向特定对象发行股票募集资金不跨越6.35亿元，个中1.5亿元用于先辈光刻胶及高纯配套材料的开辟和家当化、ArF光刻胶产品的开辟和家当化。南大年夜光电于2017年起承担“02专项”，率先制备出国内首款ArF光刻胶产品，其ArF光刻胶产品已在一家公司的40nm至65nm技巧平台经由过程验证。

在次先辈的KrF（248nm）光刻胶上，多家公司已完成研发，进入验证和量产家当化阶段。比如，彤程新材控股的北京科华称，公司是国内第一家获得台积电KrF（248nm）订单的公司，也是国内独一一家量产KrF光刻胶的公司。晶瑞股份表示，公司的KrF光刻胶已进入客户测试阶段，争夺3年内完成量产。

原材料研发亟需搀扶

还有部分上市公司直接切入集成电路光刻胶的原材料范畴。

久日新材于2020年8月25日披露，拟收购大年夜晶新材100%股权（包含其全资子公司大年夜晶信息），切入光刻胶专用光敏剂范畴。公司于2020年10月1日披露，拟以2000万元经由过程增资扩股方法投资微芯新材，微芯新材主营KrF光刻胶树脂和单体的研发、临盆与发卖。此次投资完成后，公司将持有微芯新材12.12%的股权。

“国度应当给高端半导体设备、材料类企业更多研发支撑，解决‘小马拉大年夜车’问题。”对于半导体材料国产化，晶瑞股份董事李?此前在接收记者采访时表示，半导体家当最终的竞争力是落到更上游的设备、材料范畴，这恰好是中国半导体家当最脆弱的“环节”，地点范畴的企业面对范围较小、研发经验不足、研发人才缺掉、研发投入巨大年夜而回报周期长等问题。